eripusometa

把光用在樣品在樣品的表面反射的話，反射光發生。能把反射光分成p偏光和s偏光的兩個成分，因為這個偏光狀態一般來說變成橢圓(eriputikaru)所以正和eripusometori叫這樣的測量方法。更換用在樣品的光的波長，因為測量振幅比Ψ(pusai)所以評價樣品的光學常數或者膜厚那個反射光的相位差Δ(三角洲)。

因為是光學測定所以用非破壞可以測量因為測定時間短，完成之後所以不僅能夠的薄膜的評價而且可以製作途中的薄膜的過程評價(In-situ測量)。 因為選猜中的光的波長所以，不僅光學常數以及膜厚而且，能反射率，穿透率，帶結構的評價估價事業密度。

因為測量反射光所以被要求表面的平坦的saga。猜中的光的波長的幾分之一被認為是限度。 另外，為反射光變得也吸收光的金屬薄膜少測量變得困難。也依靠金屬的種類，但是幾百nm的膜厚大約變成測量限度。也復數的膜層疊時候的分別的膜厚可以測量，但是有，這種情況，存在於在膜和膜之間的界面層的估計需要的情況，把型號豎起來，計算模擬實驗有必要。 為此，計算變得復雜，并且有結果的解釋變得困難的情況。

型號裝置： SE-2000日本準實驗室株式會社
導入歲月： 2016年2月

在膜厚、光學常數測量1樣品1測量點6,400日圆

• 特別的素材，需要精力的東西以及研究或者調查的手續費的額頭和實際費用適合額頭關於考試，分析或者調製做。
• 和規定的額頭的2倍的額頭做特別規定期限，緊急的東西的手續費或者使用費的數額。
• 在橫濱市內是具有辦事處或者營業所的者，被在中小企業基本法第2條規定的中小企業(外部網站)是沒有關係到始自於以外的要求的手續費或者市內辦事處或者營業所的者，規定涉及出自涉及來自被同條規定的中小企業以外的者的要求的膜厚、光學常數測量的皮膚膜考試的手續費的數額的額頭的1.3倍的數額(不足100日圆的零頭有時對100日圆結束那個零頭金額。)tosuru。