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電場輻射型SEM
最後更新日期2024年6月28日
本事業結束了
橫濱市工業技術支援中心有2024年3月31日,廢止了。長rakunogo惠顧,表示衷心感謝了。因為以下是過去的信息所以請注意。
電場輻射型SEM(FE-SEM)的裝置介紹
概要
原理
對樣品照射用電子槍發生的電子柱的話從表面發生二次電子。因為查出那個二次電子所以能觀察試料表面的凹凸以及形態。
特徵
為在高真空環境觀察依靠樣品的狀態,但是可以幾十萬倍的微小的領域的觀察。
作為不擅長
有煤氣被為高真空放出的可能性的東西(包括水分在內的東西)不能把樣品室放入觀察室。另外,為把電子柱用在樣品在Au(低倍率)或者Pt(高倍率)等的金屬薄薄地塗層,關於不使電通過的樣品測量表面有必要。 樣品的表面,為因為電流動所以發燒,表面溶化在對熱脆弱的樣品的情況下,可能有燒糊的事情。
裝置性能以及式樣
型號裝置: JSM-7800F Prime日本電子製造
導入歲月: 2017年2月
測定例
用圖1溶膠凝膠方法製作的ITO膜
(倍率8萬倍)
費用
區分 | 學分 | 金額 |
---|---|---|
表面觀察 | 在1樣品1測量點 | 5,700日圆 |
表面觀察 | 1測量點的補充 (限製在一樣的樣品之內) | 1,600日圆 |
定性分析(能源分散型分光儀) | 在1樣品1測量點 | 8,400日圆 |
定性分析(能源分散型分光儀) | 在1樣品1測量點 | 1,600日圆 |
mapping(能源分散型分光儀) | 在1樣品1測量點 (限製在3元素以內的測量之內) | 25,100日圆 |
mapping(能源分散型分光儀) | 1測量元素的補充 (限製在一樣的測量點之內) | 1,700日圆 |
關於費用
- 特別的素材,需要精力的東西以及研究或者調查的手續費的額頭和實際費用適合額頭關於考試,分析或者調製做。
- 和規定的額頭的2倍的額頭做特別規定期限,緊急的東西的手續費或者使用費的數額。
- 在橫濱市內是具有辦事處或者營業所的者,被在中小企業基本法第2條規定的中小企業(外部網站)規定關係到始自於以外的要求的手續費或者使用費的數額的額頭的1.3倍的額頭(不足100日圆的零頭有時對100日圆結束那個零頭金額。)tosuru。
- 涉及來自沒在橫濱市內有地址的者或者沒在市內有辦事處或者營業所的個人或者法人之外的團體的要求的手續費或者使用費的規定數額的額頭的1.5倍的額頭(不足100日圆的零頭有時對100日圆結束那個零頭金額。)tosuru。
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